ساپال ئۈستەل ئۈچۈن PVD سىرلاش ماشىنىسى
ئىلتىماس
| مودېل نومۇرى | ARC-1000 | ARC-1200 | ARC-1400 | ARC-1800 | ARC-2000 |
| ۋاكۇئۇم كامېرنىڭ ئۆلچىمى (دىئامېتىرى * ئېگىزلىكى) | 1000 * 1100 | 1200 * 1400 | 1400 * 1600 | 1800 * 2000 | 2000 * 2200 |
| ۋاكۇئۇم ئۆينىڭ ماتېرىيالى | سوۋۇتۇش چاپان بىلەن SUS304 ياكى SUS316L | ||||
| ئەگمە مەنبەنىڭ سانى | 8-12 يۈرۈش | 10-14 يۈرۈش | 12-16 يۈرۈش | 14-24 يۈرۈش | 18-36 يۈرۈش |
| پومپا سىستېمىسى | مولېكۇلا پومپىسى ياكى دىففۇزىيە پومپىسى + مېخانىكىلىق پومپا | مولېكۇلا پومپىسى ياكى دىففۇزىيە پومپىسى + مېخانىكىلىق پومپىسى ، كۈچەيتكۈچ پومپىسى | |||
| Pumping Time | ئاتموسفېرادىن 5.0 * 10-2Pa غىچە 8 مىنۇتقا يەتمەيدۇ | ||||
| Bias Power Supply | 20kW | 30kW | 40kW | 60kW | 60kW |
| ئاممىۋى تارقىتىش كونتروللىغۇچ بىلەن گاز تەقسىملەش سىستېمىسى | ≥2 يۈرۈش | ||||
| ۋاكۇئۇم چەكلىمىسى | 5.0 * 10-4 Pa | ||||
| خىزمەت تېمپېراتۇرىسى | 100-250 centigrades | ||||
| خىزمەت ھالىتى | ئاپتوماتىك ياكى قول ھالىتى ، 10.4 دىيۇملۇق PLC ئېكرانغا تېگىدۇ | ||||
| ئومۇمىي قۇۋۋەت | 70-180kW | 70-180kW | 70-180kW | 120-300kW | 120-300kW |
| Footprint | 3 * 3 مېتىر | 3 * 3 مېتىر | 3 * 4 مېتىر | 4 * 5 مېتىر | 4 * 5 مېتىر |
• ئومۇمىي قۇرۇلمىسى: تىك ئالدى ئىشىك ، گورىزونتال ئالدى ئىشىك ، ئارقا ۋاكۇئۇم سېتىۋېلىش سىستېمىسى
• ماتېرىياللار: كاۋاك ئەلا سۈپەتلىك SUS304 داتلاشماس پولاتتىن ياسالغان
• Ion ئەگمە مەنبەسى: ئۈسكۈنىلەرنىڭ چوڭ-كىچىكلىكىگە ئاساسەن كۆپ خىل ئەگمە توك بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى سەپلەنگەن
• بىر تەرەپلىمىلىك توك بىلەن تەمىنلەش: يۇقىرى قۇۋۋەتلىك يەككە باسقۇچلۇق تومۇر بىر تەرەپلىمىلىك توك بىلەن تەمىنلەيدۇ
• كۆپ ئوقلۇق نىشان: كۆپ خىل تىتان ياكى داتلاشماس پولات نىشاننى ئۆلچەملىك
ئايلىنىش سىستېمىسى: ئۆزگىرىشچان چاستوتا سۈرئىتىنى تەڭشەش ، ئىنقىلاب بىلەن ئايلىنىشنىڭ بىرلەشتۈرۈلۈشى ، يۇقىرى سۈرئەتلىك يەتكۈزۈش ياكى تۆۋەن يەتكۈزۈش.
ۋاكۇئۇم سىستېمىسى (بېزەكلىك سىرلاش ئۈسكۈنىسى): دىففۇزىيە پومپىسى (ئىختىيارى مولېكۇلا پومپىسى) + يىلتىز پومپىسى + مېخانىكىلىق پومپا
• گازنى كونترول قىلىش: كۆپ يۆنىلىشلىك گاز ماسسىسىنى كونترول قىلىش سىستېمىسى
ئىسسىنىش سىستېمىسى: بېزەكلىك سىر 150 ℃ تېمپېراتۇرا كونترول PID تەڭشىگىلى ۋە كونترول قىلغىلى بولىدۇ
• ئەقلىي ئىقتىدارلىق كونترول: PLC ئەقلىي ئىقتىدارلىق كونترول + HMI تولۇق رەڭلىك سېزىمچان كۆرۈنمە يۈزى ، تولۇق ئاپتوماتىك لوگىكىلىق كونترول قىلىشنى ئەمەلگە ئاشۇرۇش
• ئاگاھلاندۇرۇش ۋە قوغداش: بىنورمال شارائىتتا ئاگاھلاندۇرۇش ۋە مۇناسىپ قوغداش تەدبىرلىرىنى يولغا قويۇش.
ئورتاق قوللىنىشچان پروگراممىلار
1. ئەينەك قوڭغۇراق
2. ساپال كاھىش ۋە موزايكا
3. ئەينەك موزايكا
4. ئۈنچە-مەرۋايىت
5. ئەينەك يورۇتۇش زاپچاسلىرى
6. مېتال زاپچاسلار
7. ساپال بۇيۇملار
8. چىش بۇيۇملىرى
9. داتلاشماس پولات چىۋىق تىتان ئالتۇن ۋاراقلىرىغا ،
10. مىلتىق زاپچاسلىرى قاتارلىقلار
